Posted by Park on March 16, 1998 at 19:50:43:
In Reply to: sem에 대하여 궁금합니다 posted by 이명환 on March 13, 1998 at 15:21:11:
SEM은 시료에 electron beam을 주사하여(scanning)
시료로부터 나오는 2차 전자(secondary electron)을
검출하여(scintillator이용) 광전증배관(photo multiplier)로
증폭후 CRT에서 영상화 시켜서 3차원의 입체구조를
관찰하는 전자현미경입니다. TEM이 전자 빔이 시료를
투과하여 얻어지는 것에 비하여 SEM은 시료를
주사하므로 Scanning EM 이라 합니다.
수차는 광학계에서는 빛에 의하여 발생하나 EM 에서는
광원을 전자를 사용하므로 구면수차(전자가 한점에서
모이지 못하는 경우) 비점수차(빔의 직경이 타원형으로
찌그러지는 경우) 색수차(전자의 에너지 차이에의하여
발생) 등이 대표적 수차입니다.
다음부터는 먼저 신분을 밝히시길 바라며, 지면 관계상
대략적으로 설명했으니 자세하게 알고 싶으면 연구회에
가입하여 학술 집담회에 참석하여 알아보시길 바랍니다.