»ý¹°Ã¼¸¦ ¿¬±¸ÇÏ´Â µ¥ »ç¿ëÇÏ´Â ÀüÀÚÇö¹Ì°æ(electron microscope)¿¡´Â Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ°ú ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æÀÇ µÎ Á¾·ù°¡ ÀÖ´Ù ¾Æ·¡ ±×¸² ¿ÞÂÊ¿¡¼­¿Í °°ÀÌ ÁÖ·Î ¼¼Æ÷³ª Á¶Á÷ÀÇ ³»ºÎ±¸Á¶¸¦ °üÂûÇϱâ À§ÇÏ¿© ½Ã·á¸¦ ¾ã°Ô Àß¶ó¼­ ¸¸µç ´Ü¸éÀ» ÀüÀÚ·Î Åõ°úÇÑ ÈÄ Çü±¤ÆÇ¿¡ »óÀ» ¸¸µå´Â °ÍÀÌ TEM(Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ)À̰í, ¿À¸¥ÂÊ ±×¸²°ú °°ÀÌ ½Ã·áÀÇ °Ñ Ç¥¸é ¶Ç´Â ºÎ·¯¶ß¸° ³»ºÎ±¸Á¶¸¦ ÀÔüÀûÀ¸·Î °üÂûÇϱâ À§ÇÏ¿© ½Ã·áÇ¥¸é¿¡ ÀüÀÚ¸¦ ÁÖ»çÇÏ¿© ¾ò¾îÁø »óÀ» CRT(À½±Ø¼±°ü, ¿äÁò ÇлýµéÀÇ Ç¥ÇöÀ¸·Î´Â ¸ð´ÏÅÍ)¿¡ ¿µ»óÈ­ ½ÃŲ°ÍÀÌ SEM(ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ)ÀÌ´Ù.

 

TEM°ú SEMÀÇ ¿ø¸®¸¦ ¾Æ·¡¿¡ ´Ù½Ã Á¤¸®ÇÏ¿© º¸¾Ò´Ù.

TEM

Åõ°úÀüÀÚÇöºñ°æ transmission electron microscopeÀº ±¤ÇÐÇö¹Ì°æ°ú ±× ¿ø¸®°¡ ºñ½ÁÇÏ´Ù.

ÀüÀÚÇö¹Ì°æ¿¡¼­ÀÇ ±¤¿øÀº ³ôÀº Áø°ø »óÅÂ(1x10-4 ÀÌ»ó)¿¡¼­ °í¼ÓÀ¸·Î °¡¼ÓµÇ´Â ÀüÀÚ¼±ÀÌ´Ù. ÀüÀÚ¼±ÀÌ Ç¥º»À» Åõ°úÇÏ¿© ÀÏ·ÃÀÇ Àü±âÀÚ±âÀå electromagnetic field ¶Ç´Â Á¤Àü±âÀå electrostatic fieldÀ» °ÅÃÄ Çü±¤ÆÇÀ̳ª »çÁøÇʸ§¿¡ ÃÊÁ¡À» ¸ÂÃß¾î Åõ»çµÈ´Ù. ÀÌ ÀüÀÚÀÇ ÆÄÀåÀº °¡¼ÓÀü¾Ð¿¡ µû¶ó ´Ù¸£¸ç ÈçÈ÷ »ç¿ëµÇ´Â Àü¾Ð(100 KV)¿¡¼­ÀÇ ÀüÀÚÆÄÀåÀº 0.004nmÀÌ´Ù. ±¤Çз»Áî ´ë½Å »ç¿ëµÇ´Â ÀÚ±âÀå magnetic fieldÀº ºÒ¿ÏÀüÇÏ¸ç °³±¸¼ö numerical aperture°¡ ¾ø´Ù. µû¶ó¼­ ÀüÀÚÇö¹Ì°æÀÇ ÀÌ·ÐÀû ºÐÇØ´É(ÇØ»ó·Â)Àº ¾à 0.001nmÀ̳ª »ý¹°ÇÐÀû Ç¥º»¿¡¼­ »ç¿ëµÇ´Â ºÐÇØ´ÉÀº ¾à 0.2nm(side entry), 0.14nm(top entry)ÀÌ´Ù.

ÃÖ±Ù¿¡ °íÀü¾Ð(500¡­1,000KV)À» »ç¿ëÇÏ´Â Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æÀÌ °³¹ßµÇ¾î ºñ±³Àû µÎ²¨¿î Á¶Á÷Ç¥º»µµ Åõ°úÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÊÀ¸·Î½á °üÂûÀÌ °¡´ÉÇØ Á³À¸³ª ¾ÆÁ÷Àº Å©°Ô Ȱ¿ëµÇÁö ¾Ê°í ÀÖ´Ù.

ÀüÀÚÇö¹Ì°æÀº È®´ëÀ²°ú ÇØ»ó·ÂÀÌ ¶Ù¾î³ª ±¤ÇÐÇö¹Ì°æÀ¸·Î °üÂûÇÒ ¼ö ¾ø´Â ¼¼Æ÷ ¹× Á¶Á÷ÀÇ ¹Ì¼¼ÇÑ ±¸Á¶¸¦ °üÂûÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ´Ü¹éÁú°ú °°Àº °Å´ëºÐÀÚº¸´Ù ´õ ÀÛÀº ±¸Á¶µµ º¼ ¼ö ÀÖ´Ù. ÇÑÆí ÀÌ·¯ÇÑ Æ¯¼ö±¸Á¶¸¦ ¼³¸íÇÏ´Â »õ·Î¿î ¿ë¾î°¡ ÃâÇöµÇ±âµµ Çß´Ù.

SEM

ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ scanning electron microscope(SEM)Àº º¸´Ù ÃÖ±Ù¿¡ °³¹ßµÇ¾úÀ¸¸ç Åõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ°ú´Â ´Ù¼Ò ´Ù¸£´Ù. ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æÀº ÀüÀÚ°¡ Ç¥º»À» Åë°úÇÏ´Â °ÍÀÌ ¾Æ´Ï¶ó ÃÊÁ¡ÀÌ Àß ¸ÂÃß¾îÁø ÀüÀÚ¼± electron beamÀ» Ç¥º»ÀÇ Ç¥¸é¿¡ ÁÖ»çÇÑ´Ù ÁÖ»çµÈ ÀüÀÚ¼±ÀÌ Ç¥º»ÀÇ ÇÑ Á¡¿¡ ÁýÁߵǸé ÀÏÂ÷ÀüÀÚ¸¸ ±¼ÀýµÇ°í Ç¥¸é¿¡¼­ ¹ß»ýµÈ ÀÌÂ÷ÀüÀÚ´Â °ËÆÄ±â detector¿¡ ÀÇÇØ ¼öÁýµÈ´Ù. ±× °á°ú »ý±ä ½ÅÈ£µéÀÌ ¿©·¯ Á¡À¸·ÎºÎÅÍ ¸ð¿©µé¾î À½±Ø¼±°ü cathod ray tube¿¡ »óÀ» Çü¼ºÇÏ°Ô ÇÑ´Ù. ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æÀÇ Æ¯Â¡Àº ÃÊÁ¡ÀÌ ³ôÀº ½Éµµ¸¦ ÀÌ¿ëÇØ¼­ ºñ±³Àû Å« Ç¥º»À» ÀÔüÀûÀ¸·Î °üÂûÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù.

ÀüÀÚbeamÀ» ½Ã·á À§¿¡ ÁÖ»ç½ÃÄѼ­ ½Ã·á·ÎºÎÅÍ Æ¢¾î³ª¿Â 2Â÷ ÀüÀÚ¸¦ ¸ð¾Æ¼­ °ËÃâÇÑ ÈÄ ¿©·¯ °¡Áö º¹ÀâÇÑ ±â°èÀåÄ¡¸¦ °ÅÄ£ ÈÄ CRT¿¡ ¿µ»óÈ­½ÃŰ´Â ÀüÀÚ Çö¹Ì°æÀÌ´Ù.

°ËÃâ±â´Â scintillater¶ó°íµµ Çϴµ¥ scintillater·Î °ËÃâµÈ 2Â÷ ÀüÀÚ´Â ±¤Àü Áß¹è°üÀ¸·Î ¿î¹ÝµÇ¾î ¿©±â¼­ ½ÅÈ£°¡ ÁõÆø µÈÈÄ ´Ù½Ã video amplifier¿¡¼­ ¿µ»ó½ÅÈ£ ÁõÆøÀ» °ÅÄ£ ÈÄ CRT¿¡¼­ °üÂûÇÏ°Ô µÈ´Ù. µû¶ó¼­ TEMÀº ¾ãÀº ½ÃÆí(60nmÁ¤µµ)À» beamÀÌ Åõ°úÇÏ¿© °üÂûÇϹǷΠ2Â÷ÀûÀÎ ¶Ç´Â ´Ü¸éÀûÀÎ ±¸Á¶¸¦ ³ªÅ¸³»Áö¸¸ SEMÀº ½Ã·á À§¸¦ ÁÖ»çµÈ »óÀ» °üÂûÇϹǷΠ3Â÷¿øÀûÀÎ ÀÔü »óÀ» °üÂûÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. TEMÀ̳ª SEMÀº °¢°¢ÀÇ camera systemÀ» ÅëÇÏ¿© °üÂû Áï½Ã ÃÔ¿µÀ» ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú´Ù.