년   대

내   용

BC

유리의 제조 및 발견 : 정확히 모름

BC4500

유리 기록 발견 : 메소포타미아

BC2500

유리 발견 : 투명 유리 또는 유리 구슬(이집트)

1C 

유리제조기록  : 플리니우스의 박물지(Plinius Secundus,로마)에 소개

2C

유리의 확대력 발견 : K. Ptolemaeos(그리스 천문학자)

년 대

내   용

1595

Zacharias Janssen(네덜란드)이 복합현미경 발명

1660

Johannes Faber(이탈리아)가 Microscope(Microscopium)란 용어 명명

1660

Antonie van Leeuwenhoek(네덜란드) 가 단순 현미경 발명

1665

Robert Hooke의 현미경제작 및 Cell 발견,고전적 condensor lens system 도입

1733

Chester M Hall(영국)이 achromat 개발

1830

Joseph Jackson Lister(영국)가 비구면 렌즈 개발

1836

Sir George Biddell Airy(독일), Airy disk 발견

1846

Carl Zeiss 회사 창립

1855

Giovanni Amici(Italia)가 water-immersion objective 발명 

1876 

Reichert 회사 창립(Carl Reichert)

1886

Ernst Abbe가 광학현미경의 분해능의 한계 발견과 apochromat, oil-immersion lens개발

년  대

내   용

1895

W. Roentgen(독일)이 X-ray 발견

1897

Sir J. J. Thomson(독일)이 Electron발견

1924

Louis de Broglie(프랑스)가 전자파동설 제안

1926

Hans Busch가 전자에 대한 자계의 렌즈작용 이론화

1931

Max Knoll & Ernst Ruska의 TEM 발명(×17.4)

년 도

배 율

구성 요소

1931

17.4×

집속렌즈, 대물렌즈

1933

12,000×

대물렌즈에 pole piece적용

1938

30,000×

집속렌즈, 대물렌즈에 pole piece, 투사렌즈, 사진판, 시료방의 사전배기장치

1954

100,000×

2단 집속렌즈를 도입하여 시료에 대한 열영향 방지

연도

연구자

주사속도

주사선속 직경

특기사항

1935

Knoll

200 lines, 50 frames/sec

100 ㎛

전자주사선속 스캐너 방식, 렌즈를 사용하지 않음

1938

Ardenne

20 min

10 nm

TEM과 같이 필름을 투과된 전자에 직접 노출시킴

1942

Zworykin

10 min

50 nm

가속전압 10 kV, 4단 정전렌즈 사용, CRT 사용

1952

McMullan

5 min

50 nm

가속전압 15-20 kV, 시료의 관찰각을 증가시켜 실제적인  3차원 이미지 획득

1955

Smith

25 nm

McMullan 현미경 개선, 금속 코팅 방법 도입으로 생물시료 관찰

1965

Pease & Nixon^*

5 nm

high resolution의 개념 도입

년  대

내   용

1934

B. L. Marton의 생물시료관찰: 최초로 성공

1935

Max Knoll의 SEM 원리제안

1938

M. von Ardenne(독일)의 SEM 발명

1940

일본의 EM 개발 - Hitachi에서 HU-1 제작

1942

Vladimir Kosma Zworykin(러시아)의 SEM 개선

1949

네덜란드의 EM 개발 - Philips에서 EM100(5nm) 제작

1962

영국 Cambridge사의 SEM 상용화

1965

500kV 고압전자현미경(HVEM) 개발 - Hitachi, HU-500

1966

일본 SEM 개발(JEOL사의 SEM 시판)

1966

1MV 고압전자현미경 개발 - JEOL과  Hitachi

1969

SEM 발전 - 15nm(Hitachi, HSM-2)

년  대

내   용

1970

3.0MV 초고압전자현미경(UHVEM)개발 - Hitachi(H-1000)

1972

FESEM 개발 - Hitachi(HFS-2), 분해능 5㎚/현재 1㎚

1986

In-lens SEM 개발 - Hitachi(S-900), 분해능 0.7㎚/현재 0.5㎚

1989

FETEM 개발 - Hitachi(HF-2000)

1990

LVSEM 또는 NSEM, VPSEM 개발 - JEOL(JSM-5400LV)

1995

3.5MV 초고압전자현미경 - Hitachi(H-3000)

1997

ESEM 개발 - Philips(XL-30)

2000

1M FE-TEM 개발 - Hitachi(H-1000FT)

2003

더 좋은 현미경 개발을 위한 부단한 노력

년  대

내   용

1958

최초 기증도입(경북대학교 안영필 교수) : HM-3, Hitachi

1958

기증도입(육군기술연구소) : SM-C2, Shimazu

1961

국내 최초 도입(성균관대학교, $18,000) : HS-6, Hitachi

1966

건국대학교에 도입 : TRS-50, Akashi

1968

연세대학교 의과대학 : HU-11-E, Hitachi

2003 현재

1520대 도입